更新時間:2021-08-09
上海睿丹自動化儀表有限公司生產(chǎn)氣體質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質量流進行精密測量和控制。它們在半導體集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典型應用場合有微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。
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上海睿丹自動化儀表有限公司生產(chǎn)氣體質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質量流進行精密測量和控制。它們在半導體集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典型應用場合有微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。
氣體質量流量控制器產(chǎn)品特點
自帶顯示,可獨立運行
質量流量控制器執(zhí)行JJG1132-2017國家標準進口電磁比例閥,使用壽命更長
采用RS-485通信接口,可遠程組網(wǎng)使用可通過RS-485對MFC進行校準標定緊湊型外觀設計,節(jié)約更多空間
內(nèi)置高精度MEMS傳感器,測量控制更精準
所有產(chǎn)品均采用特定高純氣體標定,確保產(chǎn)品的精度任意角度安裝均不影響氣體流量專業(yè)團隊,提供優(yōu)質服務
氣體質量流量控制器最大量程 50sccm-5slpm(可定制)
精度 +1%F.S.
氣體類型 H/He/N/Air/Ar(可定制)
響應時間 1s
壓差范圍 <1MPa
工作溫度 0~50℃
工作濕度 0~95%R.H.(非冷凝)
工作電壓 DC24V+10%/DC12V+10%
信號接口 RS-485(Modbus)
氣路材質 不銹鋼/鋁合金/鋁合金惰性涂層
氣路接口 1/16 或 1/8或 1/4
尺寸 60x26x80mm