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ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器

更新時(shí)間:2022-11-16

簡(jiǎn)要描述:

ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器21V系列,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)。Alicat的21V系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器是專為需要緊密關(guān)閉應(yīng)用而設(shè)計(jì)的,如真空鍍膜和濺射過(guò)程等。

型號(hào):21V系列點(diǎn)擊量:1206

  免費(fèi)咨詢:86-021-59966206

  發(fā)郵件給我們:501630350@qq.com

ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器21V系列

應(yīng)用及案例


● 大學(xué)/研究所

● 真空行業(yè)及鍍膜

● 半導(dǎo)體

● 光伏

● 過(guò)程工藝氣體測(cè)量

ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器21V系列

產(chǎn)品特色


數(shù)字化產(chǎn)品
帶氣動(dòng)截止閥,泄漏率低
多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
標(biāo)配三種控制方式:數(shù)字、模擬和本地面板
可選高精度:可優(yōu)于0.5%
 量程比 200:1
響應(yīng)時(shí)間快 僅需100ms(可調(diào))
內(nèi)置98種氣體
現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體(最多5種成分),并存儲(chǔ)20種混合氣



技術(shù)指標(biāo)


介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體,請(qǐng)參考“產(chǎn)品資料下載"中氣體兼容表

                  一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量       程    從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM

量 程  比    200:1

最大顯示流量    102.4%FS

顯示屏    帶按鍵,標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精度    ± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程

高精度    ±(0.4%RD + 0.2%FS),選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

閥門(mén)泄漏率    不超過(guò)1x10 atm scc/sec (He)

重復(fù)性    ± 0.2% FS

零點(diǎn)漂移&滿量程漂移    0.02% FS / ?C / Atm

響應(yīng)時(shí)間    100ms(可調(diào))預(yù)熱時(shí)間:<1s

標(biāo)定工況:25℃ & 100kPa 絕壓、20℃ & 100kPa 絕壓、0℃ & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場(chǎng)可切換)

工作溫度:-10 ~ +50 ℃

工作濕度:0-100%,無(wú)冷凝

標(biāo)準(zhǔn)最大工作壓力    1MPa 表壓

標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓    1.2MPa 表壓

中壓選項(xiàng)    2MPa

數(shù)字輸入/輸出信號(hào):RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模擬輸入/輸出信號(hào):0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出:質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度

供電電壓    7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出,須為15-30 Vdc)

供電電流    250mA ~ 750mA

電氣接口    8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭

材質(zhì)    316L,303&302不銹鋼,Viton,硅膠RTV,玻璃增強(qiáng)尼龍

鋁 ,黃銅,430FR 不銹鋼, 硅,玻璃, PCTFE

安裝方式    對(duì)位置無(wú)要求 防護(hù)等級(jí):IP40

氣體編碼


選型表截圖長(zhǎng)圖.png

混合氣體編碼為“800",選項(xiàng)中須有具體混合氣體比例說(shuō)明。

對(duì)于液體流量計(jì)和控制器,液體指純水,液體編碼為“900"。

* ALICAT非抗腐蝕流量計(jì)/控制器產(chǎn)品,可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品,可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計(jì)產(chǎn)品,可支持①、②、③類氣體。


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